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Moniteur de débit de référence molbox RFM
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Le molbox RFM est une unité de support pour effectuer des mesures de débits massiques à l'aide d'éléments de débit sonique laminaire molbloc-L et molbloc-S.
Les éléments de débit du molbloc sont connectés au molbox RFM avec deux connexions de pression et une ligne de données. Le molbox RFM lit les données d'étalonnage depuis le molbloc EEPROM et mesure la pression du molbloc en amont et en aval avec ses capteurs de pression de référence incorporés de haute précision. Un système de mesure ohmique lit la résistance des thermomètres à résistance de platine du molbloc à partir de laquelle la température du molbloc est calculée. A l'aide des données d'étalonnage du molbloc, des pressions, de la température et des propriétés des gaz stockés dans la mémoire molbox RFM, le débit du gaz circulant dans le molbloc est calculé. Pour des éléments de débit du molbloc-L, une option de micro-gamme est disponible pour augmenter la résolution et la précision de mesure du débit sous 10 % FS de la gamme de débits.
Les éléments de débit du molbox RFM et du molbloc sont utiles dans une variété d'applications de mesure, d'essais et d'étalonnage où une mesure hautement précise des débits de gaz faibles est nécessaire. Le molbox RFM est spécifiquement conçu pour des applications où une présentation hautement compacte, une grande gamme de pression utile et un coût réduit sont les principales considérations. Un deuxième modèle, le molbloc1+, est disponible pour des applications où l'incertitude la plus faible possible est la première priorité. Pour configurer votre système d'étalonnage de débit massique, consultez les pages qui suivent pour sélectionner les étalonnages dépendant du molbloc et de la pression pour mieux couvrir vos gammes de débits et les conditions de pression. Des systèmes de montage molstic et COMPASS (R) pour le logiciel d'étalonnage de débit du molbox sont disponibles pour compléter le système.
- Présentation compacte
- Couvre la gamme de débits de 1 sccm à 100 slm avec molbloc-L, et jusqu'à 5 000 slm avec le molbloc-S.
- Sélectionnez parmi 20 gaz différents
- Incertitude de mesure accréditée de ± 0,5 % de la lecture avec une gamme de pression utile atteignant 100:1
- Robinetterie interne pour prise en charge d'un système de purge embarqué, d'essais d'étanchéité et de tare
- Inclut des fonctions de mesure avancées comme total, moyenne, haut/bas et déviation
- Commande de panneau avant complète et communications RS232 et IEEE-488 à distance
- Mesure le débit massique et volumique avec des conditions de pression et de température de référence réglables par l'utilisateur
Caractéristiques de la mesure de débit
Le molbox RFM mesure le débit à travers les éléments de débit du molbloc. La gamme de débits, la pression de service utilisable et la pression différentielle pour le molbloc-L ou la gamme de débits et la gamme de pressions absolues pour le molbloc-S dépendent de l'élément du molbloc utilisé et de ses options d'étalonnage. Consultez les fiches de gammes de molbloc-L et de molbloc-S pour des détails sur l'étalonnage et la gamme.
Pour des gammes de molbloc-L atteignant 3E4, la résolution et la précision sous 10% FS sont améliorées par l'option de micro-gamme. Pour le molbloc 1E5-L, l'option de micro-gamme est nécessaire pour obtenir la spécification.
molbox RFM |
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molbloc-L (gammes 1E1-L à 3E4-L) |
molbloc-S (toutes les gammes) |
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Vitesse de mise à jour des mesures |
1 seconde |
1 seconde |
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Plage |
jusqu'à la grandeur totale du molbloc en fonction du gaz et de la pression du molbloc en fonction du type d'étalonnage (consulter la fiche de gammes de molbloc-L) |
Le débit lié à un pression absolue de 20 kPa à 200 kPa (3 psia à 30 psia) ou une pression amont absolue de 50 kPa à 500 kPa (7 psia à 70 psia) (consulter la fiche de gammes de molbloc-S) |
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Résolution |
0,01 % FS |
± 0,01 % de la lecture |
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Linéarité |
± 0,23 % de la lecture de 10 à 100 % FS, ± 0,023 % FS sous 10 % FS |
± 0,25 % de la lecture |
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Répétabilité |
± 0,1% de la lecture de 10 à 100 % FS, ± 0,01% FS sous 10 % FS |
± 0,1 % de la lecture |
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Précision1 |
± 0,25 % de la lecture de 10 à 100 % FS, ± 0,025 % FS sous 10 % FS |
± 0,3 % de la lecture |
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Stabilité prévue2 |
± 0,15 % de la lecture de 10 à 100 % FS, ± 0,015 % FS sous 10 % FS |
± 0,2 % du relevé |
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Incertitude de mesure3
|
± 0,5 % de la lecture de 10 à 100 % FS, ± 0,05 % FS sous 10 % FS |
± 0,5 % de la lecture de 50 kPa à 500 kPa, ± 0,5 % du débit à 50 kPa de 20 kPa à 50 kPa |
molbox RFM avec option de micro-gamme |
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molbloc-L (gammes 1E1-L à 3E4-L) |
molbloc-L (plages 1E5 seulement) |
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Vitesse de mise à jour des mesures |
1 seconde |
1 seconde |
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Plage |
De 0 à la grandeur totale du molbloc en fonction du gaz et de la pression du molbloc en fonction du type d'étalonnage (consulter les tables molbloc-L) |
De 0 à la grandeur totale du molbloc en fonction du gaz et de la pression du molbloc en fonction du type d'étalonnage (consulter les tables molbloc-L) |
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Résolution |
0,01 % FS, 0,001 % FS sous 10 % FS |
0,01 % FS |
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Linéarité |
± 0,23 % de la lecture de 1 à 100 % FS, ± 0,0023 % FS sous 1 % FS |
± 0,25 % de la lecture de 5 à 100 % FS, ± 0,0125 % FS sous 5 % FS |
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Répétabilité |
± 0,1% de la lecture de 1 à 100 % FS, ± 0,001 % FS sous 1 % FS |
± 0,2 % de la lecture de 5 à 100 % FS, ± 0,01% FS sous 5 % FS |
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Précision1 |
± 0,25 % de la lecture de 1 à 100 % FS, ± 0,0025 % FS sous 1 % FS |
± 0,32 % de la lecture de 5 à 100 % FS, ± 0,016 % FS sous 5 % FS |
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Stabilité prévue2 |
± 0,15 % de la lecture de 1 à 100 % FS, ± 0,0015 % FS sous 1 % FS |
± 0,2 % de la lecture de 5 à 100 % FS, ± 0,01% FS sous 5 % FS |
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Incertitude de mesure3 |
± 0,5 % de la lecture de 1 à 100 % FS, ± 0,005 % FS sous 1 % FS |
± 0,5 % de la lecture de 5 à 100 % FS, ± 0,025 % FS sous 5 % FS |
molbloc-S (toutes les gammes)
Les caractéristiques techniques sont les mêmes que pour un molbox RFM sans micro-gamme. Le capteur de micro-gamme est désactivé à chaque fois que le molbox RFM est raccordé à un molbloc-S.
1 Précision : linéarité, hystérèse et reproductibilité combinées.
2 Stabilité prévue : changement maximal du zéro et de l'étendue sur un an pour un molbox RFM et un molbloc types utilisés dans des conditions types. Comme on ne peut que la prédire, la stabilité pour un molbox RFM spécifique doit être établie par expérience.
3 Incertitude des mesures : déviation maximale de l'indication du débit de molbox RFM par rapport à la valeur réelle du débit à travers le molbloc, notamment incertitude standard de précision, de stabilité et d'étalonnage DHI. Les caractéristiques de l'incertitude de mesure pour les molblocs ne sont valables que pour des gaz avec lesquels le molbloc a été étalonné. Tous les molblocs sont étalonnés pour N2. Les étalonnages avec d'autres gaz sont facultatifs. La capacité d'étalonnage DHI n'est pas maintenue en permanence pour tous les gaz sur toutes les désignations de molblocs. Vérifiez la disponibilité avant de commander.
| Accessoire | Description |
|---|---|
| Boîte de commande MFC-CB |
Boîtier de commande MFC-CB Comprend : |
| Logiciel d'aide à l'étalonnage pour les utilisateurs de molbloc/molbox | |
| molstic-L Mounting Systems | |
| molstic-S Mounting System | |
| RFM-RMK |
Kit de montage en rack |
| RFM 02 |
Microplage |
| Manuels de produits |
|---|
molbox™ RFM™ Operation and Maintenance Manual (1.59 Mo) |
|
molbox™ RFM™ Operation and Maintenance Supplement (46.05 Ko) |
| Logiciels |
|---|
| COMPASS for Flow PC Based Software Download/Upgrade |
| COMPASS for molbox PC Based Software Download/Upgrade |
| Microprogrammes |
|---|
| molbox RFM™ v1.20d Embedded Software |
| Pilotes LabView |
|---|
| LabVIEW Drivers, Pressure and Flow Calibration Products |
| Utilitaires gratuits |
|---|
| CalTool for RPTs Free Utility |
| molLoad Free Utility |
